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三氟化氮
三氟化氮
产品详情:

产品描述

三氟化氮在常温常态下是一种无色稳定的气体。它具有良好的绝缘性和化学稳定性。三氟化氮不可燃,但能支持燃烧。当温度在350以上时,气体会慢慢分解产生强氧化的氟,因此在高温时,它是一种强氧化剂。

理化指标

ImpuritiesNF3≥99.995% Vol.%NF3≥99.99% Vol.%NF3≥99.98% Vol.%NF3≥99.9% Vol.%
CF4≤20 Vol.ppm≤40 Vol.ppm≤100 Vol.ppm≤500 Vol.ppm
N2≤5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
O2+Ar≤3 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
CO2≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
H2O≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm
HF≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm
SF6≤1 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤25 Vol.ppm
N2O≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
CO≤0.5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm

气体物化特性

分子量熔点沸点临界温度临界压力液体密度气体密度水中溶解度CAS  号危险性类别
71.01-206.8  ℃  (1atm)-129  ℃  (1atm)-39.3  ℃44.02atm(4.46MPa)1554kg/m3(1atm  沸点时  )2.95kg/m3(1atm 21  ℃)1.43*10-5  当量浓度  (1atm  ,  22  ℃  )7783-54-2第2.3类有毒气体在空气中的最高允许含量为29mg/m3

储存及运输

三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。

三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。

泄漏应急处理

如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。

泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。

应用

三氟化氮已广泛应用于电子行业,半导体,以及太阳能光伏产业等。它是一种很好的蚀刻清扫气体,具有清扫无残留,吹扫速度快,易分解等优点。

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